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微型压力转感器具有怎样的特点呢?

文章出处:kefu 责任编辑:kefu 发表时间:2018-01-16 15:16:15【
微型拉压力传感器在我们的工业区当中使用非常的广泛,目前很多企业都比较重视微型拉压力传感器的使用,在选择微型拉压力传感器的使用,首先需要选择好型号。那么,微型压力转感器具有怎样的特点呢?今天,让我们的转感器厂家来带我们一起了解一下吧!
为了办理微压力传感器灵敏度和非线性的抵触,在布局上,综合梁膜布局与平膜双岛布局的长处,采纳双岛-梁布局。岛区的面积不是按比例缩小或减少。起首,为了增长灵敏度,应尽量减小窄梁区的长度和宽度。因为从对梁-膜-岛布局的有限元阐发和类似剖析阐发中发明,减小窄梁区的长度和宽度能够显著地使梁上的应力增大。而且当中央窄梁的长度约为双方窄梁长度的2倍时,器件的线性度最佳。固然有双岛限位布局,但在高过载情况下,硅膜将起首从岛的边区和角区决裂。这是因为传统的岛膜布局都是采纳惯例的有掩模的各向同性湿法腐化,从硅片后头构成硅膜和背岛。硅膜是晶面,边框和背大岛正面都是晶面,夹角为54.74°的锐角。依据力学道理,在角区存在应力会合效应,使硅膜在正面或后头受压今后,角区会具备应力的极值,是以决裂起首从该处发生。引入应力匀散布局今后,使角区酿成具备必定曲率的圆角区,使该区的应力极值降低。在硅膜与边框或背岛的交界处要构成有必定曲率半经的缓变布局,采纳一样平常的惯例各向同性湿法腐化是无奈完成的。为此,采纳了掩模-无掩模各向同性湿法腐化技巧。
微压传感器的事情道理风压传感器的压力间接作用在传感器的膜片上,使膜片发生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变更,和用电子路线检测这一变更,并转换输入一个对应于这个压力的尺度旌旗灯号。
 

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